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在IBM工作的林本坚也不能放过。
这位对于浸没式光刻技术有鬼才一般的想法,必须要招揽。
此时,这位天才就有了浸没式光刻技术的想法。
当芯片制程卡在65nm之际,林本坚看到浸没式光刻技术的机会。
为解决技术难题、消除厂商疑虑,林本坚还花费半年时间带领团队发表3篇论文。
当
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