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半导体加工工艺,本质上就是一个在硅晶圆上,不断曝光,蚀刻的过程。
而这个工艺的提升的过程,就是曝光时所用的底片图案,不断进行增密的一个过程。
增密底片图案,除了提高光刻机精度,就没有别的办法了吗?
在我们的日常生活当中,有个不恰当的例子,那就是套色印刷(或者是彩色打
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