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2001年12月11日,沪上微电科长春实验室将进行一次曝光系统实验。
之前一再提到过,光刻机最核心的两个东西是镜头和光源,而今天这场实验的目的,倒不是说直接就搞定了镜头光源,这是不可能的,地表最强组合成立才半年,国家项目下来后的大佬加盟更是不过两个月的时间。
即便2001年的光刻机技术攻
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